Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Брюэр Дж. Р. (ред.)
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технической работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Godina:
1984
Izdavač:
Радио и связь
Jezik:
russian
Strane:
167
Fajl:
PDF, 18.97 MB
IPFS:
,
russian, 1984
Litres
Želite da dodate knjižaru? Kontaktirajte nas na support@z-lib.do
File converter
Više rezultata pretrage
More benefits 
Najčešći pojmovi
Povezani Spiskovi knjiga
